该厂为85英寸晶圆研发线模块化的超去离子水设计，天天会产生含硅废气150吨。废气中虽无血本属，但硅硫含量高易积垢，且内阻率需达到18MΩ·cm就可以中水回用。和原有治理 工艺设备无非符合新颁布实施的《电子设备实业水严重排出物排出原则》（GB39731-2020）比较排出标准值。 废液的成分性能 通常水废弃物 ：氢氧化铁硅（200-300mg/L）、粒子硅（粒级0.1-1μm） 特别想要 ：TOC<10μg/L，硼占比<5μg/L 水质量特点 ：低电阻率（<50μS/cm）但硅无机化合物基本特征繁杂 进行处理工艺技术方法 改革创新用于"梯级膜分离法+电去阳离子"搭配组合方法： 微滤预工作 ：1μm瓷器膜拦住大粒子硅，通量恢复80LMH 阳离子对调树脂材料 ：D201大孔不饱和树脂选定 性吸附物硅酸原子核 两级RO系统 ：1、段利用率60%，二段采用了高脱硼膜pcb板 EDI电去化合物 ：电压电流硬度2A/m²，持续不断我们要除稳定度铝离子 红外光谱杀菌的 ：254nm红外光线线极量40mJ/cm² 水平特色 研发专业阻硅剂（有机会胺类塑料物），延迟膜污染问题定期3倍 EDI信息模块创新性流道设汁，硅祛除率上升至99.8% 上线硅探讨仪（测试区域0.1-500μg/L）保持靶向控制 进行预期效果 经第二方在线检测： 总硅从280mg/L降到0.05mg/L 硼含量的从8μg/L调至0.3μg/L 系统的二手回提取率从原40%大幅提升至68% 膜更改生长期延伸至5年，年启用投资成本大大减少35%