某光电器件生产加工品牌因晶圆难以清理程序发生含氨废水操作工艺,用水量200吨/天。废水操作工艺中除化学需氧量外还含氟化物和进样器血本属,操作困难大。本省产生规范标准需要化学需氧量<5mg/L,氟化物<3mg/L。
废渣材料及从何而来
晶圆洗掉化工废水(重要来自):含氟化物200-300mg/L,氟化物50-80mg/L
刻蚀步骤废渣:含轻微铜、镍等巨资属,pH值下跌大
CMP碾磨废气:含硅粒子及氟化物
解决工艺技术流量
选择"化学上的沉淀物中+膜区分+折点氯化"整合的工艺:
预补救
:加药系统CaCl2除氟,抑制pH在7.5-8.
超滤膜系统化
:取除0.01μm之上顆粒物
反渗透装置性和精炼
:将氟化物原谅我真的喝醉了 因为我真的想你的 一不小心 我知道这样不应该 对你泰国依赖 至1000mg/L以上的
折点氯化
:透彻调节氯加药系统量,将氟化物被转化为惰性气体
铝离子传递
:基本保障巨资属标准
决定疗效
挥发酚可靠<3mg/L,氟化物<1mg/L
巨资属硫含量大于的检测限
水中水回用率达75%
污水呈现量抑制40%